產品簡介
它是一種多室型濺射裝置，可以配備多個處理室（*多3個腔室200E，*多5個腔室200J和*多7個腔室200）
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產品說明
產品簡介：
它是一種多室型濺射裝置，可以配備多個處理室（*多3個腔室200E，*多5個腔室200J和*多7個腔室200）
產品特性：
? 可運輸Φ200mm板
? 作為處理室的各種模塊的陣容
? 介電模塊
? 高溫成膜模塊
? 精密分配模塊
? 蝕刻模塊
產品應用：
? 電子零件
? 微機電系統
? 動力裝置
? 發光二極管
本頁產品地址：http://www.lgsztm.com/sell/show-9170650.html
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