產(chǎn)品簡介
研究開發(fā)向NLD干法刻蝕設(shè)備NLD-570，是搭載了愛發(fā)科開創(chuàng)的磁性中性線（NLD- neutral loop discharge）等離子源的裝置，此NLD技術(shù)可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)生低壓、低電子溫度、高密度的等離子。
公司簡介
青島泰斯邁儀器設(shè)備有限公司是專業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備公司，有完善的服務(wù)和銷售體系。專業(yè)經(jīng)營各類進(jìn)口機(jī)械設(shè)備,儀器儀表及各種配件的一站式進(jìn)口產(chǎn)品綜合服務(wù)商.我司主要代理巴克拉克BACHARACH鹵素檢漏儀H25-IR PRO,冷媒回收機(jī),冷媒分析儀;愛發(fā)科ULVAC-氦質(zhì)譜檢漏儀;愛發(fā)科ULVAC-真空計(jì);愛發(fā)科ULVAC-真空泵;新機(jī)械NEW-MACHINE-快速接頭;神港精機(jī)SHINKO SEIKI-真空泵;東洋克斯TOYOX-膠管;康泰克CONTEC-板卡,工控機(jī);大進(jìn)DAISHIN-自動(dòng)焊接機(jī),點(diǎn)火器;德國SEW-電機(jī)減速機(jī);松村MORESCO-潤滑油;出光IDEMITSU-潤滑油;
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產(chǎn)品說明
產(chǎn)品簡介：
研究開發(fā)向NLD干法刻蝕設(shè)備NLD-570，是搭載了愛發(fā)科開創(chuàng)的磁性中性線（NLD- neutral loop discharge）等離子源的裝置，此NLD技術(shù)可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)生低壓、低電子溫度、高密度的等離子。。
產(chǎn)品特性：
NLD用于與ICP方式相比更低壓、高密度、更低電子溫度等離子體的石英、玻璃、水晶、LN/LT基板的加工
? 高硬玻璃、硼硅酸玻璃等不純物的多種玻璃加工，在形狀或表面平滑性方面有優(yōu)異的刻蝕性能
? 石英及玻璃作為厚膜resist mask時(shí)的也可實(shí)現(xiàn)深度刻蝕（100μ m以上）
? 可實(shí)現(xiàn)高速刻蝕（石英＞1μ m/min、Pyrex＞0.8μ m/min）
? 可追加cassette室
產(chǎn)品應(yīng)用：
? 光學(xué)器件（光衍射格子、変調(diào)器、光開關(guān)等等）、凹凸型微透鏡
? 流體路徑作成或光子學(xué)結(jié)晶
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