產品簡介
Load-lock式Plasma CVD設備CC-200/400是小型的使用便利的可對應從研究開發到量產的設備。
公司簡介
青島泰斯邁儀器設備有限公司是專業半導體設備公司，有完善的服務和銷售體系。專業經營各類進口機械設備,儀器儀表及各種配件的一站式進口產品綜合服務商.我司主要代理巴克拉克BACHARACH鹵素檢漏儀H25-IR PRO,冷媒回收機,冷媒分析儀;愛發科ULVAC-氦質譜檢漏儀;愛發科ULVAC-真空計;愛發科ULVAC-真空泵;新機械NEW-MACHINE-快速接頭;神港精機SHINKO SEIKI-真空泵;東洋克斯TOYOX-膠管;康泰克CONTEC-板卡,工控機;大進DAISHIN-自動焊接機,點火器;德國SEW-電機減速機;松村MORESCO-潤滑油;出光IDEMITSU-潤滑油;
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產品說明
產品簡介：
Load-lock式Plasma CVD設備CC-200/400是小型的使用便利的可對應從研究開發到量產的設備。
產品特性：
? 27.12MHz高密度等離子制程
? SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：可對應SiO2膜
? 以CF4+O2 Plasma實現腔體清潔功能
? 可對應有機EL（OLED）的低溫成膜用heater
? 使用Tray可搬送多種基板尺寸
? 通過使用真空Box實現C系列的間接連續制程（Sputter: CS-200, Evaporation: CV-200）
產品應用：
? 功率器件
? LED、LD、高速device等化合物相關
? 有機EL（OLED）開發
? 太陽電池開發
本頁產品地址：http://www.lgsztm.com/sell/show-9170515.html
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