納米操作機是一種可以在微納米尺度下與樣品或操作對象進行物理交互（如測量、移載、搬運等），并且可以在各種顯微鏡（光學(xué)顯微鏡、SEM、FIB）內(nèi)進行各種物理量測量（如電學(xué)、力學(xué)、光學(xué)等）的精密儀器。該系統(tǒng)全部由Nators公司自主開發(fā)的模塊化部件組成，可根據(jù)用戶需求提供定制化解決方案

上海內(nèi)諾科技有限公司位于上海浦東張江高科，是一家專業(yè)從事研發(fā)、銷售運動定位平臺，納米科學(xué)儀器的高科技企業(yè)。 公司研發(fā)團隊在運動定位，微納自動化系統(tǒng)集成方面具有十多年的研發(fā)和實踐經(jīng)驗，專注于光學(xué)、顯微，半導(dǎo)體、加工等領(lǐng)域，為用戶提供專業(yè)運動定位系列產(chǎn)品及技術(shù)服務(wù)和解決方案。

納米操作機

納米操作機是一種可以在微納米尺度下與樣品或操作對象進行物理交互（如測量、移載、搬運等），并且可以在各種顯微鏡（光學(xué)顯微鏡、SEM、FIB）內(nèi)進行各種物理量測量（如電學(xué)、力學(xué)、光學(xué)等）的精密儀器。該系統(tǒng)全部由Nators公司自主開發(fā)的模塊化部件組成，可根據(jù)用戶需求提供定制化解決方案。

 

產(chǎn)品特點：

· 閉環(huán)運動控制，具有數(shù)十毫米運動行程和納米級運動分辨率

· 低漂移，高重復(fù)定位精度

· 結(jié)構(gòu)緊湊、體積小，適配市面上大部分顯微鏡平臺

· 模塊化設(shè)計，可根據(jù)用戶需求提供定制化服務(wù)

產(chǎn)品應(yīng)用：

· 微納操作與微裝配

· 半導(dǎo)體納米芯片電學(xué)探測

· 材料納米力學(xué)測量（納米壓痕、彎曲、拉伸測試）

· 光電材料等原位光誘導(dǎo)或原位性能測量

· MEMS器件測試

規(guī)格參數(shù)

概述	技術(shù)參數(shù)
納米操作手數(shù)量	多達8個+樣品臺
每個操作手自由度	XYZ三軸
操作手運動行程（XYZ）	20 mm
開環(huán)運動分辨率	1 nm
閉環(huán)運動分辨率	5 nm
選配模塊:	力傳感器、旋轉(zhuǎn)定位臺

納米操作機
本頁產(chǎn)品地址：http://www.lgsztm.com/sell/show-9058081.html