Nators自主開發(fā)SEM兼容的原子力顯微鏡系統(tǒng)可提供在SEM或FIB內進行原位三維形貌掃描和納米壓痕功能。該系統(tǒng)可兼容大部分SEM或FIB系統(tǒng)，包括桌面型SEM。

上海內諾科技有限公司位于上海浦東張江高科，是一家專業(yè)從事研發(fā)、銷售運動定位平臺，納米科學儀器的高科技企業(yè)。 公司研發(fā)團隊在運動定位，微納自動化系統(tǒng)集成方面具有十多年的研發(fā)和實踐經驗，專注于光學、顯微，半導體、加工等領域，為用戶提供專業(yè)運動定位系列產品及技術服務和解決方案。

原子力顯微鏡

Nators自主開發(fā)SEM兼容的原子力顯微鏡系統(tǒng)可提供在SEM或FIB內進行原位三維形貌掃描和納米壓痕功能。該系統(tǒng)可兼容大部分SEM或FIB系統(tǒng)，包括桌面型SEM。

原子力顯微鏡產品特點：

· 納米級三維形貌掃描成像分辨率

· 亞納牛力納米壓痕分辨率

· 結構緊湊、優(yōu)異的SEM/FIB兼容性

· 可根據用戶具體需求提供定制化解決方案

 

原子力顯微鏡產品應用：

· AFM-SEM綜合成像分析（結合AFM功能與SEM分析技術，例如EDX、EBSD）

· 納米材料力學分析

 

規(guī)格參數

概述	技術參數
樣品運動行程	10 mm
樣品定位分辨率	100 nm
掃描行程	5 um
掃描器運動分辨率	0.1 nm
力感應范圍	+/- 100 uN
力感應分辨率	0.5 nN

 

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