國防科大研制出超光學鏡片 1納米是一根頭發絲的8萬分之一,而小于1納米則被稱為亞納米——這是國防科大工程創新團隊在超光學零件加工中創造的“精度”,有力支撐了“大規模集成電路制造裝備與成套工藝”等3個重大科技專項創新突破,3年來為創造直接經濟效益2億多元。近日,該校研制兩種超精拋光裝備通過重大科技專項驗收。
超加工是以為目標的制造技術,納米精度被譽為超加工技術皇冠上的明珠,西方發達將其視為戰略資源,嚴格限制出口。面對我國光學零件制造水平的窘境,國防科大工程創新團隊在李圣怡教授率領下,跳過一、二代光學零件制造加工技術,直接瞄準基于可控柔體制造的第三代光學加工方法開展攻關,在次研制出擁有知識產權的磁流變、離子束兩種超精拋光裝備,創造了我國光學零件加工亞納米的“精度”奇跡,使我國光學自動化加工技術及工藝一躍進入水平,成為繼美、德之后第三個掌握光學零件制造加工技術的,也是目前上同時具有磁流變和離子束拋光裝備研發能力的。
國防科大研制出超光學鏡片 近3年來,該團隊與中科院、航天科技集團、航空工業集團等合作,推動我國空間光學、高端裝備制造發展,研制出兩大類7個型號的磁流變和離子束拋光機床,為“大規模集成電路制造裝備與成套工藝”“高分辨率對地觀測系統”等3個重大科技專項提供技術保障和裝備支撐,解決了一系列制約其創新發展的技術難題。團隊先后獲得科技部重大科技專項頒發的“突出貢獻獎”和“突出成果獎”。