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表面微觀不平深度測量范圍在連續表面上，相鄰二象素之間沒有大于1 / 4 波長的高度突變時：1000 一1nm 相鄰二象素之間含有大于1 / 4 波長的高度突變時：130 一1nm 測量的重復性：δRa ≤0.5nm

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