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價格：電議
所在地：河南 鄭州市
型號：NBD-PECVD1200-50T2-N
更新時間：2024-09-18
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公司地址：新鄭市新華辦竹園8號
司合軍(先生)
雙爐膛滑軌式PECVD主要特點：
1. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染；
2. 上開啟式結構，方便觀察試樣；
3. 產品采用全自動控制方式，觸摸屏，數字化顯示；
4. 可通過爐體滑動來達到快速升溫和快速降溫的效果；
5. 穩定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質量。
雙爐膛滑軌式PECVD配置參數：
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產品型號 |
NBD-PECVD1200-50T2-N |
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電氣規格 |
AC220V 3KW 射頻功率：300或500瓦 13.56Mhz |
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| 可達溫度 |
1200 ℃ （<1小時） |
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連續溫度 |
1100 ℃ （連續） |
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可達加熱速率 |
≤20 ℃/分鐘 |
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加熱區長度 |
200mm+200mm（兩個加熱溫區分別加熱，分體式設計使溫度梯度可以達到極限） |
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爐管尺寸 |
Φ50*1800mm |
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