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價格：電議
所在地：河南 鄭州市
型號：KT--Z1650PVD
更新時間：2024-06-28
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公司地址：鄭州高新技術產業開發區西三環路289號6幢11單元3層73號
邱迎迎(女士)
桌面式濺射儀KT-Z1650PVD水冷式濺射源，可實現高功率持續運行，有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動擋板功能。通過定時調節預濺射功率及薄膜沉積功率，可對大部分金屬進行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜。
電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞，電離出大量的氬離子和電子，電子飛向基片。氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉積在基片上成膜。二次電子在加速飛向基片的過程中受到磁場洛倫茲力的影響，被束縛在靠近靶面的等離子體區域內，該區域內等離子體密度很高，二次電子在磁場的作用下圍繞靶面作圓周運動，該電子的運動路徑很長。
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控制方式 |
7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
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濺射電源 |
直流濺射電源 |
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鍍膜功能 |
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
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功率 |
≤1000W |
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輸出電壓電流 |
電壓≤1000V 電流≤1A |
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真空 |
機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa |
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濺射真空 |
≤30Pa |
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擋板類型 |
電控 |
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真空腔室 |
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
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樣品臺 |
可旋轉φ62 （可安裝φ50基底） |
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樣品臺轉速 |
8轉/分鐘 |
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樣品濺射源調節距離 |
40-105mm |
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真空測量 |
皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） |
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預留真空接口 |
KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 |
免責聲明：以上所展示的[KT--Z1650PVD 持久型真空濺射儀]信息由會員[鄭州科探儀器設備有限公司]自行提供，內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責。
