美國實驗室光刻系統使用的172nm 的波長。不需要傳統的光刻膠，對幾乎任何的有機聚合物材料都可以光刻。不需要傳統的涂膠、烘烤、曝光、顯影、清洗等的流程和時間。高分辨率、高強度、率、低成本。在實驗室就可以實現光刻，而無需到半導體工廠，使用大型和昂貴的刻蝕機。操作簡單，幾乎無需培訓。

華賀公司是一家為企業及科研客戶提供測試測量解決方案的高新技術企業。致力于國內外電子測試測量領域產品的交匯整合，集研發、生產、銷售為一體，在所涉足的技術和行業領域，以客戶的應用為出發點，向客戶提供從產品到系統的全面和增值的解決方案。

華賀的核心業務包括：

• 為客戶提供測試測量技術咨詢，以及恰當的測試方案
• 各種測試設備及相關器材的供應
• 軟硬件系統集成服務
• 測試測量產品的設計開發
• 產品的維修、校準服務

美國實驗室光刻系統(Photo-Lithograghy)

 

品牌名稱：Cygnus（小天鵝）

系統名稱：π 2 -CYGNI

品牌口號：Smallest lab in the world

可提供項目：

? 系統銷售

? 光刻服務

? 掩膜板銷售

? 樣機展示、培訓

美國實驗室光刻機簡述：使用的172nm 的波長。不需要傳統的光刻膠，對幾乎任何的有機聚合物材料都可以光刻。不需要傳統的涂膠、烘烤、曝光、顯影、清洗等的流程和時間。高分辨率、高強度、率、低成本。在實驗室就可以實現光刻，而無需到半導體工廠，使用大型和昂貴的刻蝕機。操作簡單，幾乎無需培訓。

特點：

? 新一代真空紫外(VUV)光源波長：170nm

? 輸出強度高: 7.2eV/光子

? 高光輸出均勻性： 3%

? 燈壽命長: 曝光可達30,000次

? 不要超凈間、無需復雜昂貴的光學平臺

? 操作簡單、快速

? 體機小巧

美國實驗室光刻機目標實驗室：大學、科研院所，進行芯片、傳感器、電路研究的如下實驗室

? 半導體材料和工藝研究

? 物理：微機電、納米、存儲、芯片研究、傳感器

? 化學：材料研究，刻蝕、光刻、清洗

? 光電

? 材料科學

? 生物：微流控，生物芯片

? 醫學：微流控，生物/醫學芯片

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