氣體質(zhì)量流量計（Mass Flow Meter，簡稱MFM）利用溫差量熱法原理，可對氣體的質(zhì)量流量進行測量。用這種方法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力影響。本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJT10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件和命名方法。

北京邁測儀器有限公司主要從事熱式質(zhì)量流量控制器、熱式質(zhì)量流量計、科氏質(zhì)量流量計、氣體混合配比儀的研發(fā)、制造、銷售以及相關(guān)服務(wù)。 同時我們還提供以下產(chǎn)品：不銹鋼管、管件接頭、閥門、儀表、分析儀器、工業(yè)過程控制裝置等。 此外，我們還提供氣路管路工程服務(wù)：管路設(shè)計，管路焊接，管路安裝，管路檢漏，管路系統(tǒng)的維護和檢修。 我們的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于石油、化工、生物醫(yī)藥、醫(yī)療、微電子、太陽能光伏等領(lǐng)域，以及大學(xué)實驗室、中國科學(xué)院研究所、標(biāo)準(zhǔn)檢測機構(gòu)等部門，深受廣大客戶的肯定及認(rèn)同。 北京邁測儀器有限公司堅持“品質(zhì)服務(wù)，追求卓越”的經(jīng)營理念，不斷優(yōu)化結(jié)構(gòu)、壯大求實，為用戶提供更優(yōu)良的產(chǎn)品和更高效的服務(wù)。

概要

氣體質(zhì)量流量計（Mass Flow Meter，簡稱MFM）利用溫差量熱法原理，可對氣體的質(zhì)量流量進行測量。用這種方法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力影響。

本產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SJT10583-94以及SJ37所規(guī)定的通用技術(shù)條件和命名方法。

MFC/MFM出廠通常用氮氣（N2）標(biāo)定。

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為：SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分)，SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：溫度---273.15 K（0℃），氣壓—-101325 Pa（760mm Hg）

F.S.（Full Scale）：滿量程值

產(chǎn)品特點

本產(chǎn)品具有穩(wěn)定可靠、響應(yīng)時間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高等優(yōu)點，安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬數(shù)字信號轉(zhuǎn)換器（ADDA轉(zhuǎn)換器）配合計算機使用。

流量規(guī)格(N2標(biāo)定)

0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0～1,2,3,5,10,20,30 SLM

注：滿量程流量不限于此處列出的流量規(guī)格，可以在5SCCM～30SLM范圍內(nèi)任選，例如123SCCM。

輸入輸出信號

0～+5.00V (無輸入信號，輸出電流不大于3mA)

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