布魯克，納米壓痕儀，海思創TI 980 ——上的納米力學和納米摩擦學測試系統，加速納米力學研究進入更高階段。布魯克納米壓痕儀海思創TI 980同時具有zui高的性能、靈活性、可信度、實用性和速度?；诤Ｋ紕搸资甑募夹g創新，它為納米力學表征帶來了更高水平的性能、功能和易用性。

世普藍華(北京)科技有限公司是一家年輕的高科技公司，主要從事表面科學、分析儀器、實驗室儀器及單晶材料的服務和銷售，為科研、檢測及生產提供完整可靠的解決方案。銷售的儀器主要有美國TSI、泰斯肯（Tescan）、布魯克（Bruker）等世界知名品牌的高精度分析儀器、表面檢測儀器、生產設備，以及配套的耗材和配件；銷售的單晶材料主要有：磷化銦（?InP）、銻化鎵（GaSb）、砷化銦（InAs）。這些產品廣泛應用于半導體、平板顯示、太陽能、電子等各個領域。 ? ? ? 展望將來，公司將會引進更多的表面檢測和化學分析的測試儀器，為客戶提供測試測量技術開發、產品配套、系統集成（軟、硬件）、維修、租賃、第三方儀器設備外包管理、采購管理、咨詢服務以及保稅庫物流配套服務等。并將更多專業的應用技術滲透到日常服務中去，更便捷、更周到地滿足客戶需求。對世普藍華而言，客戶需要的正是我們所追求的，是我們孜孜以求的坐標和不斷超越的動力！在未來激烈多變的市場競爭中，世普藍華將與客戶一起攜手并進，共創輝煌。

布魯克，納米壓痕儀，海思創TI 980 ——上的納米力學和納米摩擦學測試系統，加速納米力學研究進入更高階段。

布魯克，納米壓痕儀，海思創TI 980，同時具有zui高的性能、靈活性、可信度、實用性和速度。基于海思創幾十年的技術創新，它為納米力學表征帶來了更高水平的性能、功能和易用性。TI 980達到了一臺優異納米力學測試儀器所需的所有要求，實現了控制上突出的性和性，試驗上的靈活度與可實現性，測量穩定性，以及系統設計的模塊化。

的Performech^® II控制模塊和電子設計

zui高性能的高速閉環控制業界的噪音控制

集成的帶輸入/輸出信號的多參數控制五百倍于前代產品的力學測試速度

多維度測量耦合

布魯克，納米壓痕儀，海思創TI 980，充分優化各個傳感器的特質適用不同測量需要，通過多維傳感器的選擇實現

不同測量間的無縫耦合多種有效的測試模塊配置，包括納米/微米壓痕、納米劃痕、納米摩擦磨損、高分辨原位掃描探針顯微鏡成像、動態納米壓痕和高速力學性能成像等。

豐富的系統控制和數據分析軟件

TriboScan(^TM) 10提供了革命性的控制功能，包括XPM超快納米壓痕，SPM+原位掃描探針顯微鏡成像，動態表面搜索，全自動系統校準和創新的測試程序。

Tribo iQ (^TM)提供了強大的數據處理、分析和畫圖功能，并具有可編程數據分析模塊和自動生成的定制測試報告功能。

大的靈活性和具有前瞻性的表征潛質

布魯克，納米壓痕儀，海思創TI 980。多級別的防護罩提供了環境隔能力，并具有用于將來的升級可擴展接口樣品臺提供了機械、磁性和真空固定方式，適用于各種樣品。

始終處于材料研究和開發的前沿

海思創從1992年起就在范圍內處于納米力學和納米摩擦學表征的位置。通過與研究人員和工程師的持續合作，布魯克理解您的獨特需求，通過創新的技術幫助您解決當下和將來面臨的材料挑戰。海思創TI 980 TriboIndenter是這些努力的集大成者。它提供了的性能，能滿足您持續更新的材料表征需求。

簡潔、高速的自動控制——系統自動校正使得每次測試都無懈可擊

針尖面積函數自動校正

傳感器自動校正

壓針和光學系統校正

自動測試程序

快速、多樣品自動測試功能實現高通量表征

智能化自動程序確保用戶選擇合適的針尖

高分辨多尺度成像結合全尺寸樣品的光學搜索，大簡化測試流程

zui低的噪音水平

實現真正納米尺度表征

從微米到幾個納米的多尺度測量納牛級別的力噪音水平和小于90%原子直徑的位移測量能力，實現幾乎任何材料的定量表征

系統可實現超過6個數量級的力測量和10個數量級的位移測量

力和位移噪音水平保證在客戶現場安裝時實現

快的反饋控制速率

控制測試過程實現zui大精度、可信度和重復性的真正定量納米力學和納米摩擦學表征特殊的力和位移反饋控制方法用于海思創的傳感器-專門針對海思創傳感器物理特性開發的力與位移反饋控制算法每隔0.013毫秒實現一次完整反饋控制，使得系統能測量快速瞬態過程，并對其作出反饋，真正實現用戶的測試意圖-每隔0.013毫秒實現一次完整的感知-分析-控制的循環，使得系統能對瞬態過程進行測量與反饋，以此重現用戶定義的測試方式

強大的測試模塊配置，zui大化您的表征潛能

自下而上的設計提供了的納米力學測試系統

實現豐富的潛在測試能力

Performech®  II控制模塊

控制納米力學測試過程

業界的力和位移噪音水平實現zui高的測量精度和重復性超快反饋控制算法提供整個測試過程的控制專為各種不同測試而開發的一整套高性能傳感器

多達24個通道的數據采集能力，每個通道都能同時達到1.2MHz采樣率

多個測試頭的耦合——一整套傳感器適用于各種測試任務

任意兩個測頭之間無縫連接

標配二維傳感器和nanoDMA III傳感器實現系統的多種測試功能和高性能

多種有效的測試模塊配置

納米壓痕：硬度，模量，蠕變，應力弛豫，斷裂韌性、高速力學性能成像

納米摩擦：薄膜結合力，摩擦系數，抗劃擦性能，磨損

掃描探針顯微鏡成像：形貌和梯度成像，納米級別定位精度，摩擦

力成像動態納米壓痕：隨著深度連續測量硬度和模量，存儲模量，損失模量，損耗角正切

在納米力學測試上一步

nanoDMA III：動態納米壓痕

布魯克的nanoDMA III是強大的動態納米壓痕技術。它提供了彈/塑性和粘彈性隨著壓入深度、頻率和時間的變化關系。

表征各種材料的普適性方法，從較軟的聚合物到硬質鍍層都能適用；

集成直流和交流調制使得從初始接觸點開始就能實現納米尺度動態性能的可靠、定量表征；

原位參考頻率法校正溫漂使得長時間測試的精度大大提高。

XPM：快速力學性能成像

不論是測量分辨率和精度，還是測量速度，XPM都是納米力學測試的業界新標桿。有了XPM，原來可能需要一整年才能獲得的數據，現在只需要一個下午就能獲得。這些的性能是通過以下三個業界的技術實現的。1）高帶寬靜電激勵傳感器；2）快速控制和數據采集電子系統；3）自上而下的原位掃描探針顯微鏡成像。這些技術聯用能實現每秒六次納米壓痕測試，從而獲得的定量納米力學性能圖譜以及性能分布的統計數據。

更少時間測量更多參數

超高速定量力學性能測量（每秒6次測量）快速、高分辨空間硬度和模量分布統計一分鐘內可靠完成針尖函數自動校正；

比傳統納米壓痕測試快500倍的數據采集速率 xSol 環境控制腔及載臺，可實現端環境條件下高通量測量。

SPM⁺實現納米力學測試前后的準確原位成像

布魯克創的掃描納米壓痕技術使用同一根探針實現樣品表面形貌成像和納米壓痕測試。這種方法實現了zui高的定位精度，并且可以在納米壓痕測試后立即對樣品塑性形變進行成像，加快測試速度。

高定位精度（+/-10nm）——可以從64x64到4096x4096范圍內設定掃描分辨率，可以對各種高長寬比的特征形貌進行不同X-Y分辨率成像，業界的納米力學性能成像分辨率和調色板，可以和摩擦力成像，nanoDMA III，nanoECR和xSol環境控制腔等聯用

強大的系統控制和分析

TriboScan 10：強大的測試靈活性提供了的測試可能性

將布魯克納米壓痕全套測試技術集成到一個直觀的軟件內，基于標簽頁架構的軟件設計使得用戶可以方便的使用軟件功能，靈活的測試過程分段定義方法提供了適用于所有測試模式的優異控制

TriboIQ: 可編程數據分析程序

易用的操作界面，從簡單到復雜的可定制數據分析包直觀的數據組織和分析流程，簡單點擊即可生成數據報告直觀可自定義的數據處理和分析模塊開放式架構使得多用戶合作更加容易

海思創TI980升級選項

xSol環境控制腔與載臺	環境控制腔實現了定量納米力學性能和納米摩擦學特征隨著溫度、氣氛和濕度的變化。
nanoECR	納米壓痕測試的原位導電特性可以和納米力學性能，材料形變行為和接觸電阻等同步研究。
xProbe	基于MEMS傳感器的探針可以實現原子力顯微鏡級別的超低力和位移噪音水平。
iTF	的原位薄膜力學性能分析包提供了排除基底效應影響的薄膜和多層膜結構的定量
	力學性能。
3D OmniProbe和多量程	通過擴展力和位移測量量程實現微米尺度的力學和摩擦學特性表征。
NanoProbe
同步拉曼光譜	原位研究力學性能和摩擦學特性與材料結構和化學成分的相關性。
模量成像	動態掃描納米壓痕模式提供材料表面的定量、高分辨模量分布。
熒光顯微鏡聯用	集成熒光顯微鏡可實現熒光共定位納米力學測試等。
電化學模塊	實現氧化和還原環境下的原位定量納米力學和納米摩擦學行為研究。
自動探針更換模塊	按鈕操作的自動探針更換模塊。
樣品臺	多尺度的磁性、機械和真空固定方式可以固定幾乎所有待測樣品，包括300mm晶圓。
TriboAE?	聲音傳感器能通過針尖原位監測納米壓痕過程中的斷裂和形變產生的聲音信號。
TriboImage?	納米尺度劃痕/磨損的實時表征。

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