超聲波振動部件主要包括大功率超聲波換能器、變幅桿、工具頭（發射頭），用于產生超聲波振動，并將此振動能量向液體中發射。

       超聲波驅動電源是專門用于驅動超聲波振動部件工作的設備，控制這超聲波振動部件的各種工作狀態。它將一般的市電轉化為高頻的交流電信號，并驅動換能器產生超聲振動。

       當超聲振動傳遞到液體中時，由于聲強很大，會在液體中激發很強的空化效應，從而在液體中產生大量的空化氣泡。隨著這些空化氣泡產生和爆破，將產生微射流，進行將液體重大的固體顆粒擊碎。同時由于超聲波的振動，使固液更加充分的混合，對大部分化學反應起到促進作用。