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價格：電議
所在地：上海
型號：
更新時間：2014-06-17
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公司地址：上海市徐匯區漕寶路400號1604室
周輝(女士)
可編程控溫，范圍 -100℃ ～ 310℃
表面溫度梯度低
的真空吸氣槽，適應不同尺寸晶圓
尺寸超薄，可集成進探針臺
支持頂桿孔
三軸（可選），用于防漏電
卡盤臺面不接地
可控升溫/降溫速度
夾盤上下表面的真空吸氣槽（可選）
樣品尺寸范圍12 mm ~ 304 mm
技術參數
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溫度分辨率 |
0.01℃，100℃時（需使用mK1000） |
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溫度穩定性 |
±0.01℃，100℃時（需使用mK1000） |
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溫度均勻度 |
±0.1℃ /厘米 （能達到的zui高溫度均勻度） |
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zui小制冷/制熱速度 |
±0.1℃ /小時 |
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溫度方式 |
PID控制開關，追加線性直流電源（可選） |
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溫度傳感器 |
100 ? 鉑質RTD傳感器 |
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表面光滑度 |
10 µm，環境溫度下 |
型號信息
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尺寸 |
型號1, 2, 3 |
樣品zui小/大直徑 |
溫度范圍4 |
zui大制熱速度 |
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150 mm |
HCC206R, HCC206RT |
12 mm 152 mm |
-100℃ ～ 200℃ |
+60℃/分鐘，100℃時 |
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150 mm |
HCC306R, HCC306RT |
12 mm 152 mm |
-100℃ ～ 310℃ |
+60℃/分鐘，100℃時 |
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200 mm |
HCC208R, HCC208RT |
40 mm 203 mm |
-80℃ ～ 200℃ |
+50℃/分鐘，100℃時 |
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200 mm |
HCC308R, HCC308RT |
40 mm 203 mm |
-80℃ ～ 310℃ |
+50℃/分鐘，100℃時 |
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300 mm |
HCC20CR, HCC20CRT |
95 mm 304 mm |
-60℃ ～ 200℃ |
+30℃/分鐘，100℃時 |
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300 mm |
HCC30CR, HCC30CRT |
95 mm 304 mm |
-60℃ ～ 310℃ |
+30℃/分鐘，100℃時 |
1夾盤上下表面的真空吸氣槽（可選）
2 支持Swagelok接口（可選）
3 支持頂桿孔（可選）
4 若要低于環境溫度則需制冷配件（可選）
配件信息
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配件 |
說明 |
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mK1000 （可選） |
請參閱mK1000溫度控制器章節（了解如接口信息） |
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LN2-SYS |
液氮制冷配件，請參閱LN2-SYS章節選擇您需要的規格 |
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WPC3A/WPC3U |
115V 或 230V 循環水泵系統，能將樣品腔快速制冷至5℃ |
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WP115F/WP230F |
115V 或 230V 循環水泵，用于冷卻冷熱臺外殼 |
訂貨信息 – 150 mm 晶圓夾盤
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部件編號 |
說明 |
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HCC206R-mK1000A |
HCC206R圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 115V，含軟件程序 |
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HCC206R-mK1000U |
HCC206R圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 230V，含軟件程序 |
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HCC206RT-mK1000A |
HCC206RT圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 115V，含軟件程序 |
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HCC206RT-mK1000U |
HCC206RT圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 230V，含軟件程序 |
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HCC306R-mK1000A |
HCC306R圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 115V，含軟件程序 |
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HCC306R-mK1000U |
HCC306R圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 230V，含軟件程序 |
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HCC306RT-mK1000A |
HCC306RT圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 115V，含軟件程序 |
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HCC306RT-mK1000U |
HCC306RT圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 230V，含軟件程序 |
訂貨信息 – 200 mm 晶圓夾盤
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部件編號 |
說明 |
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HCC208R-mK1000A |
HCC208R圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 115V，含軟件程序 |
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HCC208R-mK1000U |
HCC208R圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 230V，含軟件程序 |
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HCC208RT-mK1000A |
HCC208RT圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 115V，含軟件程序 |
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HCC208RT-mK1000U |
HCC208RT圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 230V，含軟件程序 |
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HCC308R-mK1000A |
HCC308R圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 115V，含軟件程序 |
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HCC308R-mK1000U |
HCC308R圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 230V，含軟件程序 |
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HCC308RT-mK1000A |
HCC308RT圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 115V，含軟件程序 |
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HCC308RT-mK1000U |
HCC308RT圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 230V，含軟件程序 |
訂貨信息 – 300 mm 晶圓夾盤
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部件編號 |
說明 |
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HCC20CR-mK1000A |
HCC20CR圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 115V，含軟件程序 |
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HCC20CR-mK1000U |
HCC20CR圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 230V，含軟件程序 |
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HCC20CRT-mK1000A |
HCC20CRT圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 115V，含軟件程序 |
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HCC20CRT-mK1000U |
HCC20CRT圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 230V，含軟件程序 |
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HCC30CR-mK1000A |
HCC30CR圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 115V，含軟件程序 |
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HCC30CR-mK1000U |
HCC30CR圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 230V，含軟件程序 |
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HCC30CRT-mK1000A |
HCC30CRT圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 115V，含軟件程序 |
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HCC30CRT-mK1000U |
HCC30CRT圓形高低溫晶圓夾盤主機，配有mK1000, 230V，含軟件程序 |
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