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橢圓偏振測厚儀 偏振測厚儀 測厚儀 型號:TP-TPY-1在近代科學(xué)的許多領(lǐng)域中對薄膜的研究和應(yīng)用日益。因此,加...
橢圓偏振測厚儀 偏振測厚儀 測厚儀 型號:TP-TPY-1
在近代科學(xué)的許多領(lǐng)域中對薄膜的研究和應(yīng)用日益。因此,加和迅速的測定給定薄膜的光學(xué)參數(shù)已變得加迫切和重要。在實(shí)際工作中可以利用傳統(tǒng)的方法測定光學(xué)參數(shù),如:布儒斯特角法測介質(zhì)膜的折射率,干涉法測膜厚,其它測膜厚的方法還有稱重法、X射線法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度高、度高、非破壞性測量等優(yōu)點(diǎn),因而,橢圓偏振法測量已在光學(xué)、半導(dǎo)體、生物、醫(yī)學(xué)等諸多領(lǐng)域得到應(yīng)用。
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