BROOKS流量計(jì)GF100CXXC-0004200C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS流量計(jì)GF100CXXC-0004200C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS流量計(jì)GF100CXXC-0004200C-VXVOE0-XXXXAX-000
上海智川工貿(mào)有限公司銷售美國(guó)BROOKS流量計(jì)、BROOKS質(zhì)量流量控制器、BROOKS變送器、BROOKS壓力傳感器、BROOKS真空計(jì)、BROOKS調(diào)節(jié)器等全系列產(chǎn)品。
在半導(dǎo)體制造、光伏新能源、生物醫(yī)藥、特種氣體及科研實(shí)驗(yàn)等工業(yè)領(lǐng)域,氣體流量的控制直接決定著產(chǎn)品良 率與工藝穩(wěn)定性。作為熱式質(zhì)量流量控制器(MFC)領(lǐng)域的標(biāo)桿品牌,Brooks Instrument(布魯克斯儀器)以 其精度、超快的響應(yīng)速度和高的可靠性,被晶圓廠和設(shè)備廠商廣泛采用。
一、關(guān)于 Brooks Instrument:
Brooks Instrument
總部位于美國(guó),是流量測(cè)量與控制設(shè)備制造商,擁有超過(guò)七十年的行業(yè)積淀。其產(chǎn)品覆蓋 熱式質(zhì)量流量控制器(MFC)、質(zhì)量流量計(jì)、壓力控制器、液位計(jì)及真空測(cè)量設(shè)備等多個(gè)品類,廣泛應(yīng)用于半 導(dǎo)體、平板顯示、LED、光伏、特種氣體、分析儀器及科研院所等對(duì)氣體控制精度要求高的領(lǐng)域。
在半導(dǎo)體行業(yè),Brooks的GF系列金屬密封MFC幾乎成為行業(yè)標(biāo)配。從3 sccm的微量氣體控制到300 slpm的大流 量輸送,Brooks以全金屬密封流路、Hastelloy耐腐蝕傳感器、MultiFlo多氣體多量程可編程技術(shù)以及 EtherCAT/DeviceNet/RS-485 等豐富的通信接口,滿足了從先進(jìn)制程到傳統(tǒng)工藝的需求。
二、核心產(chǎn)品推薦:BROOKS GF100 系列質(zhì)量流量控制器
以BROOKS GF100 系列為例,該系列是Brooks面向高純度氣體應(yīng)用推出的旗艦級(jí)金屬密封 MFC,具備以下核心 優(yōu)勢(shì):
- 超寬量程覆蓋:標(biāo)準(zhǔn)型覆蓋 3 sccm 至 55 slpm(N當(dāng)量),大流量型(GF101/GF121/GF126)延伸至 300 slpm,滿足不同工藝場(chǎng)景。
- 精度:流量精度達(dá) ±1% S.P.(20–100量程),重復(fù)性 ±0.15% S.P.,長(zhǎng)期零點(diǎn)漂移≤±0.15% F.S./ 年 ,確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
- 超快響應(yīng):常閉閥響應(yīng)時(shí)間低至 300 ms–1 秒,提升設(shè)備產(chǎn)能與晶圓間一致性。
- 全金屬密封流路:接液材料采用 316L VIM/VAR 不銹鋼、Hastelloy C-22 等材料,支持 5 μinch 或 10 μinch Ra 表面光潔度選項(xiàng),外部泄漏率低至 1×101 atmcc/sec He。
- MultiFlo技術(shù):一臺(tái)設(shè)備支持?jǐn)?shù)千種氣體類型和量程組合,無(wú)需拆管即可通過(guò)軟件切換,大幅降低備件庫(kù)存 成本。
- 豐富通信接口:支持 EtherCAT、DeviceNet、RS-485 及模擬0-5 Vdc,適配各類主流半導(dǎo)體設(shè)備控制系統(tǒng)。
以典型型號(hào)GF100CXXC-SH452.6L-VXVOE0-XXXXAX-000為例,該型號(hào)為 2.6 slpm 滿量程、1/4" VCR 接口、常 閉閥、EtherCAT 通信、真空下游應(yīng)用配置,廣泛用于刻蝕、CVD 等工藝腔的氣體輸送。
可提供從選型咨詢、 型號(hào)確認(rèn)到現(xiàn)貨供應(yīng)的一站式服務(wù)。除GF100系列外,公司還供應(yīng)Brooks全系列產(chǎn)品,包括GF120/GF125(更快響應(yīng)、壓力瞬態(tài)不敏感)、GF120XSL/GF120XSD(SDS 輸送系統(tǒng))、SLA5850/SLA7850 系列(橡膠密封經(jīng)濟(jì)型 MFC)、Quantim 系列科里 奧利質(zhì)量流量控制器以及壓力控制器、真空計(jì)等配套產(chǎn)品。
-SLA5800系列(經(jīng)典款,行業(yè)通用MFC)
彈性密封,流量:0.003 ~ 2500 slpm;精度 ±0.6% SP;重復(fù)性 0.2% SP;量程比 100:1;半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室 、鍍膜常用。
- SLAMF系列
彈性密封,IP66 防護(hù),戶外 / 工業(yè)環(huán)境,參數(shù)和 SLA5800 接近,適合需要更高防護(hù)的工藝。
- GF80/GF81系列(金屬密封MFC)
第四代 MultiFlo技術(shù),可現(xiàn)場(chǎng)切換氣體、改量程;金屬密封,適配腐蝕性、特種氣體;CVD、刻蝕、光伏、真 空工藝。
-GF10系列
新一代數(shù)字型 MFC,自帶故障自診斷,高速通訊(EtherCAT、Profinet 等),半導(dǎo)體先進(jìn)制程。
-5700系列
經(jīng)濟(jì)型熱式質(zhì)量流量計(jì)(單純測(cè)量,不帶控制閥),無(wú)移動(dòng)部件,吹掃氣、在線分析、替換轉(zhuǎn)子流量計(jì)。
三、公司核心優(yōu)勢(shì)包括:
1. 渠道可靠:所有BROOKS產(chǎn)品均來(lái)自正規(guī)渠道,可提供原廠出廠校準(zhǔn)證書及完整的產(chǎn)品溯源信息,沒(méi)有翻新 、仿冒產(chǎn)品。
2. 專業(yè)選型,技術(shù)支持:
公司擁有經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)團(tuán)隊(duì),可根據(jù)客戶的氣體類型、量程、接口、通信協(xié)議、 下游壓力等工藝參數(shù),提供型號(hào)匹配與替代方案咨詢。
3. 現(xiàn)貨庫(kù)存,快速交貨:針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)常用型號(hào)備有現(xiàn)貨庫(kù)存,常規(guī)型號(hào)交貨周期短,急單可協(xié)調(diào)空運(yùn), 大限度縮短客戶等待時(shí)間。
4. 售后完善,服務(wù)無(wú)憂:提供產(chǎn)品安裝指導(dǎo)、故障排查、原廠維修校準(zhǔn)對(duì)接等全生命周期服務(wù),解決客戶后 顧之憂。
5. 價(jià)格透明,誠(chéng)信經(jīng)營(yíng):公司堅(jiān)持公開透明的報(bào)價(jià)體系,批量采購(gòu)可享受優(yōu)惠價(jià)格,支持合同簽訂、增值稅 專用發(fā)票等正規(guī)商務(wù)流程。
四、服務(wù)領(lǐng)域與客戶群體
涵蓋:
- 半導(dǎo)體制造:晶圓廠、封測(cè)廠、半導(dǎo)體設(shè)備廠商(刻蝕機(jī)、CVD、PVD、離子注入機(jī)等)
- 光伏與新能源:光伏電池片制造、氫能、燃料電池、鋰電池涂布等
- 平板顯示與 LED:LCD/OLED 面板制造、LED 外延片及芯片生產(chǎn)
- 特種氣體與化工:電子特氣、標(biāo)準(zhǔn)氣體配比、氣相色譜(GC)載氣控制
- 科研與高校:實(shí)驗(yàn)室氣體管路、材料科學(xué)、表面分析儀器
- 生物醫(yī)藥:發(fā)酵罐通氣、無(wú)菌氣體控制、實(shí)驗(yàn)室分析儀器
。
部分型號(hào):
BROOKS 流量計(jì) GF100CXXC-SH452.6L-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量計(jì) GF100CXXC-0607200C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量計(jì) GF100CXXC-0015200C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量計(jì) GF100CXXC-0015100C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量計(jì) GF100CXXC-0013200C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量計(jì) GF100CXXC-0004200C-VXVOE0-XXXXAX-000
BROOKS 流量計(jì) GF100CXXC-0004010C-VXVOE0-XXXXAX-000
本頁(yè)產(chǎn)品地址:http://www.lgsztm.com/sell/show-9627203.html