上海智川工貿(mào)有限公司銷售美國BROOKS流量計、BROOKS質(zhì)量流量控制器、BROOKS變送器、BROOKS壓力傳感器、BROOKS真空計、BROOKS調(diào)節(jié)器等全系列產(chǎn)品。

上海智川工貿(mào)有限公司是一家為國內(nèi)各類工礦企業(yè)提供進口機電產(chǎn)品備件銷售的公

司,且致力于流體控制閥類、管道閥類及其相關(guān)產(chǎn)品在國內(nèi)的推廣和銷售，有著一支

具有資深設(shè)計及高素質(zhì)、勤業(yè)敬崗的營銷隊伍。公司自成立以來，與國外廠商和國

內(nèi)用戶建好了良好的合作關(guān)系，上海智川工貿(mào)憑借多年的工作經(jīng)驗和齊全的產(chǎn)品種

類，可以滿足不同用戶在產(chǎn)品設(shè)計、制造和項目選型中提出的各種特殊要求，并提

供完善的技術(shù)服務(wù)。公司主要經(jīng)營知名品牌的疏水閥、電磁閥、連接件、傳感器、

接近開關(guān)、氣動液壓元件和儀器儀表等。所經(jīng)營的產(chǎn)品主要服務(wù)于煙草、石油、化

工、塑料、冶金、電力、紡織、玻璃、造紙、陶瓷、汽車、船舶、包裝、制藥、污

水處理等行業(yè)，同時還可提供引進各類成套設(shè)備，流水生產(chǎn)線及設(shè)備技術(shù)改造等。

我公司經(jīng)銷有價格優(yōu)勢的品牌有：日本NIPPON GEAR開關(guān)、瑞典haldex離合器、德國

KNORR-BREMSE空壓機、美 國GO SWITCH開關(guān)、德國frako電容、法國HPI泵、德國

IGUS拖鏈、德國KNOLL泵、美國OILGEAR電磁閥、意大利 ROLLON導(dǎo)軌、德國SCHENCK

傳感器、意大利SETTIMA泵、英國SIRCAL凈化器、西班牙SODECA風(fēng)機、德國R.STAHL

插頭、瑞典TILLQUIST變送器、瑞士TRAFAG開關(guān)、英國TWIFLEX聯(lián)軸器、BIFOLD電磁

閥、美國METRIX變送器、日 本MIDORI電位器、法國OLAER蓄能器、英國PARVALUX電

機、美國PERMA PURE干燥管、日本URAS電機、日本 SPOTRON壓力表、美國ACTEK吊環(huán)

、西班牙ARTECHE繼電器、日本ATEC導(dǎo)軌、美國C3CONTROLS電位器、美國 DYNISCO傳

感器、英國HAWKE電纜接頭、美國NORMAN過濾器、美國TOPWORX開關(guān)、英國BOWMAN冷

卻器、美國 LINCOLN油脂泵、日本PASCAL泵等一系列進口品牌，口碑好售后服務(wù)全

面。

BROOKS真空計
BROOKS真空計
上海智川工貿(mào)有限公司銷售美國BROOKS流量計、BROOKS質(zhì)量流量控制器、BROOKS變送器、BROOKS壓力傳感器、BROOKS真空計、BROOKS調(diào)節(jié)器等全系列產(chǎn)品。



在半導(dǎo)體制造、光伏新能源、生物醫(yī)藥、特種氣體及科研實驗等工業(yè)領(lǐng)域，氣體流量的控制直接決定著產(chǎn)品良 率與工藝穩(wěn)定性。作為熱式質(zhì)量流量控制器（MFC）領(lǐng)域的標桿品牌，Brooks Instrument（布魯克斯儀器）以 其精度、超快的響應(yīng)速度和高的可靠性，被晶圓廠和設(shè)備廠商廣泛采用。



一、關(guān)于 Brooks Instrument：
Brooks Instrument
總部位于美國，是流量測量與控制設(shè)備制造商，擁有超過七十年的行業(yè)積淀。其產(chǎn)品覆蓋 熱式質(zhì)量流量控制器（MFC）、質(zhì)量流量計、壓力控制器、液位計及真空測量設(shè)備等多個品類，廣泛應(yīng)用于半 導(dǎo)體、平板顯示、LED、光伏、特種氣體、分析儀器及科研院所等對氣體控制精度要求高的領(lǐng)域。




在半導(dǎo)體行業(yè)，Brooks的GF系列金屬密封MFC幾乎成為行業(yè)標配。從3 sccm的微量氣體控制到300 slpm的大流 量輸送，Brooks以全金屬密封流路、Hastelloy耐腐蝕傳感器、MultiFlo多氣體多量程可編程技術(shù)以及  EtherCAT/DeviceNet/RS-485 等豐富的通信接口，滿足了從先進制程到傳統(tǒng)工藝的需求。



二、核心產(chǎn)品推薦：BROOKS GF100 系列質(zhì)量流量控制器

以BROOKS GF100 系列為例，該系列是Brooks面向高純度氣體應(yīng)用推出的旗艦級金屬密封 MFC，具備以下核心 優(yōu)勢：



- 超寬量程覆蓋：標準型覆蓋 3 sccm 至 55 slpm（N當量），大流量型（GF101/GF121/GF126）延伸至 300  slpm，滿足不同工藝場景。


- 精度：流量精度達 ±1% S.P.（20–100量程），重復(fù)性 ±0.15% S.P.，長期零點漂移≤±0.15% F.S./ 年 ，確保長期穩(wěn)定運行。


- 超快響應(yīng)：常閉閥響應(yīng)時間低至 300 ms–1 秒，提升設(shè)備產(chǎn)能與晶圓間一致性。


- 全金屬密封流路：接液材料采用 316L VIM/VAR 不銹鋼、Hastelloy C-22 等材料，支持 5 μinch 或 10  μinch Ra 表面光潔度選項，外部泄漏率低至 1×101 atmcc/sec He。


- MultiFlo技術(shù)：一臺設(shè)備支持數(shù)千種氣體類型和量程組合，無需拆管即可通過軟件切換，大幅降低備件庫存 成本。


- 豐富通信接口：支持 EtherCAT、DeviceNet、RS-485 及模擬0-5 Vdc，適配各類主流半導(dǎo)體設(shè)備控制系統(tǒng)。



以典型型號GF100CXXC-SH452.6L-VXVOE0-XXXXAX-000為例，該型號為 2.6 slpm 滿量程、1/4" VCR 接口、常 閉閥、EtherCAT 通信、真空下游應(yīng)用配置，廣泛用于刻蝕、CVD 等工藝腔的氣體輸送。

可提供從選型咨詢、 型號確認到現(xiàn)貨供應(yīng)的一站式服務(wù)。除GF100系列外，公司還供應(yīng)Brooks全系列產(chǎn)品，包括GF120/GF125（更快響應(yīng)、壓力瞬態(tài)不敏感）、GF120XSL/GF120XSD（SDS 輸送系統(tǒng)）、SLA5850/SLA7850 系列（橡膠密封經(jīng)濟型 MFC）、Quantim 系列科里 奧利質(zhì)量流量控制器以及壓力控制器、真空計等配套產(chǎn)品。




-SLA5800系列（經(jīng)典款，行業(yè)通用MFC）
彈性密封，流量：0.003 ~ 2500 slpm；精度 ±0.6% SP；重復(fù)性 0.2% SP；量程比 100:1；半導(dǎo)體、實驗室 、鍍膜常用。


- SLAMF系列
彈性密封，IP66 防護，戶外 / 工業(yè)環(huán)境，參數(shù)和 SLA5800 接近，適合需要更高防護的工藝。


- GF80/GF81系列（金屬密封MFC）
第四代 MultiFlo技術(shù)，可現(xiàn)場切換氣體、改量程；金屬密封，適配腐蝕性、特種氣體；CVD、刻蝕、光伏、真 空工藝。


-GF10系列
新一代數(shù)字型 MFC，自帶故障自診斷，高速通訊（EtherCAT、Profinet 等），半導(dǎo)體先進制程。


-5700系列

經(jīng)濟型熱式質(zhì)量流量計（單純測量，不帶控制閥），無移動部件，吹掃氣、在線分析、替換轉(zhuǎn)子流量計。



三、公司核心優(yōu)勢包括：


1. 渠道可靠：所有BROOKS產(chǎn)品均來自正規(guī)渠道，可提供原廠出廠校準證書及完整的產(chǎn)品溯源信息，沒有翻新 、仿冒產(chǎn)品。


2. 專業(yè)選型，技術(shù)支持：
公司擁有經(jīng)驗豐富的技術(shù)團隊，可根據(jù)客戶的氣體類型、量程、接口、通信協(xié)議、 下游壓力等工藝參數(shù)，提供型號匹配與替代方案咨詢。


3. 現(xiàn)貨庫存，快速交貨：針對半導(dǎo)體行業(yè)常用型號備有現(xiàn)貨庫存，常規(guī)型號交貨周期短，急單可協(xié)調(diào)空運， 大限度縮短客戶等待時間。


4. 售后完善，服務(wù)無憂：提供產(chǎn)品安裝指導(dǎo)、故障排查、原廠維修校準對接等全生命周期服務(wù)，解決客戶后 顧之憂。


5. 價格透明，誠信經(jīng)營：公司堅持公開透明的報價體系，批量采購可享受優(yōu)惠價格，支持合同簽訂、增值稅 專用發(fā)票等正規(guī)商務(wù)流程。



四、服務(wù)領(lǐng)域與客戶群體

涵蓋：
- 半導(dǎo)體制造：晶圓廠、封測廠、半導(dǎo)體設(shè)備廠商（刻蝕機、CVD、PVD、離子注入機等）
- 光伏與新能源：光伏電池片制造、氫能、燃料電池、鋰電池涂布等
- 平板顯示與 LED：LCD/OLED 面板制造、LED 外延片及芯片生產(chǎn)
- 特種氣體與化工：電子特氣、標準氣體配比、氣相色譜（GC）載氣控制
- 科研與高校：實驗室氣體管路、材料科學(xué)、表面分析儀器
- 生物醫(yī)藥：發(fā)酵罐通氣、無菌氣體控制、實驗室分析儀器

。

部分型號：

BROOKS  流量計  GF100CXXC-SH452.6L-VXVOE0-XXXXAX-000

BROOKS  流量計  GF100CXXC-0607200C-VXVOE0-XXXXAX-000

BROOKS  流量計  GF100CXXC-0015200C-VXVOE0-XXXXAX-000

BROOKS  流量計  GF100CXXC-0015100C-VXVOE0-XXXXAX-000

BROOKS  流量計  GF100CXXC-0013200C-VXVOE0-XXXXAX-000

BROOKS  流量計  GF100CXXC-0004200C-VXVOE0-XXXXAX-000

BROOKS  流量計  GF100CXXC-0004010C-VXVOE0-XXXXAX-000


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