上海智川工貿有限公司銷售美國BROOKS流量計、BROOKS質量流量控制器、BROOKS變送器、BROOKS壓力傳感器、BROOKS真空計、BROOKS調節器等全系列產品。

上海智川工貿有限公司是一家為國內各類工礦企業提供進口機電產品備件銷售的公

司,且致力于流體控制閥類、管道閥類及其相關產品在國內的推廣和銷售，有著一支

具有資深設計及高素質、勤業敬崗的營銷隊伍。公司自成立以來，與國外廠商和國

內用戶建好了良好的合作關系，上海智川工貿憑借多年的工作經驗和齊全的產品種

類，可以滿足不同用戶在產品設計、制造和項目選型中提出的各種特殊要求，并提

供完善的技術服務。公司主要經營知名品牌的疏水閥、電磁閥、連接件、傳感器、

接近開關、氣動液壓元件和儀器儀表等。所經營的產品主要服務于煙草、石油、化

工、塑料、冶金、電力、紡織、玻璃、造紙、陶瓷、汽車、船舶、包裝、制藥、污

水處理等行業，同時還可提供引進各類成套設備，流水生產線及設備技術改造等。

我公司經銷有價格優勢的品牌有：日本NIPPON GEAR開關、瑞典haldex離合器、德國

KNORR-BREMSE空壓機、美 國GO SWITCH開關、德國frako電容、法國HPI泵、德國

IGUS拖鏈、德國KNOLL泵、美國OILGEAR電磁閥、意大利 ROLLON導軌、德國SCHENCK

傳感器、意大利SETTIMA泵、英國SIRCAL凈化器、西班牙SODECA風機、德國R.STAHL

插頭、瑞典TILLQUIST變送器、瑞士TRAFAG開關、英國TWIFLEX聯軸器、BIFOLD電磁

閥、美國METRIX變送器、日 本MIDORI電位器、法國OLAER蓄能器、英國PARVALUX電

機、美國PERMA PURE干燥管、日本URAS電機、日本 SPOTRON壓力表、美國ACTEK吊環

、西班牙ARTECHE繼電器、日本ATEC導軌、美國C3CONTROLS電位器、美國 DYNISCO傳

感器、英國HAWKE電纜接頭、美國NORMAN過濾器、美國TOPWORX開關、英國BOWMAN冷

卻器、美國 LINCOLN油脂泵、日本PASCAL泵等一系列進口品牌，口碑好售后服務全

面。

BROOKS流量計
BROOKS流量計
上海智川工貿有限公司銷售美國BROOKS流量計、BROOKS質量流量控制器、BROOKS變送器、BROOKS壓力傳感器、BROOKS真空計、BROOKS調節器等全系列產品。



在半導體制造、光伏新能源、生物醫藥、特種氣體及科研實驗等工業領域，氣體流量的控制直接決定著產品良 率與工藝穩定性。作為熱式質量流量控制器（MFC）領域的標桿品牌，Brooks Instrument（布魯克斯儀器）以 其精度、超快的響應速度和高的可靠性，被晶圓廠和設備廠商廣泛采用。



一、關于 Brooks Instrument：
Brooks Instrument
總部位于美國，是流量測量與控制設備制造商，擁有超過七十年的行業積淀。其產品覆蓋 熱式質量流量控制器（MFC）、質量流量計、壓力控制器、液位計及真空測量設備等多個品類，廣泛應用于半 導體、平板顯示、LED、光伏、特種氣體、分析儀器及科研院所等對氣體控制精度要求高的領域。




在半導體行業，Brooks的GF系列金屬密封MFC幾乎成為行業標配。從3 sccm的微量氣體控制到300 slpm的大流 量輸送，Brooks以全金屬密封流路、Hastelloy耐腐蝕傳感器、MultiFlo多氣體多量程可編程技術以及  EtherCAT/DeviceNet/RS-485 等豐富的通信接口，滿足了從先進制程到傳統工藝的需求。



二、核心產品推薦：BROOKS GF100 系列質量流量控制器

以BROOKS GF100 系列為例，該系列是Brooks面向高純度氣體應用推出的旗艦級金屬密封 MFC，具備以下核心 優勢：



- 超寬量程覆蓋：標準型覆蓋 3 sccm 至 55 slpm（N當量），大流量型（GF101/GF121/GF126）延伸至 300  slpm，滿足不同工藝場景。


- 精度：流量精度達 ±1% S.P.（20–100量程），重復性 ±0.15% S.P.，長期零點漂移≤±0.15% F.S./ 年 ，確保長期穩定運行。


- 超快響應：常閉閥響應時間低至 300 ms–1 秒，提升設備產能與晶圓間一致性。


- 全金屬密封流路：接液材料采用 316L VIM/VAR 不銹鋼、Hastelloy C-22 等材料，支持 5 μinch 或 10  μinch Ra 表面光潔度選項，外部泄漏率低至 1×101 atmcc/sec He。


- MultiFlo技術：一臺設備支持數千種氣體類型和量程組合，無需拆管即可通過軟件切換，大幅降低備件庫存 成本。


- 豐富通信接口：支持 EtherCAT、DeviceNet、RS-485 及模擬0-5 Vdc，適配各類主流半導體設備控制系統。



以典型型號GF100CXXC-SH452.6L-VXVOE0-XXXXAX-000為例，該型號為 2.6 slpm 滿量程、1/4" VCR 接口、常 閉閥、EtherCAT 通信、真空下游應用配置，廣泛用于刻蝕、CVD 等工藝腔的氣體輸送。

可提供從選型咨詢、 型號確認到現貨供應的一站式服務。除GF100系列外，公司還供應Brooks全系列產品，包括GF120/GF125（更快響應、壓力瞬態不敏感）、GF120XSL/GF120XSD（SDS 輸送系統）、SLA5850/SLA7850 系列（橡膠密封經濟型 MFC）、Quantim 系列科里 奧利質量流量控制器以及壓力控制器、真空計等配套產品。




-SLA5800系列（經典款，行業通用MFC）
彈性密封，流量：0.003 ~ 2500 slpm；精度 ±0.6% SP；重復性 0.2% SP；量程比 100:1；半導體、實驗室 、鍍膜常用。


- SLAMF系列
彈性密封，IP66 防護，戶外 / 工業環境，參數和 SLA5800 接近，適合需要更高防護的工藝。


- GF80/GF81系列（金屬密封MFC）
第四代 MultiFlo技術，可現場切換氣體、改量程；金屬密封，適配腐蝕性、特種氣體；CVD、刻蝕、光伏、真 空工藝。


-GF10系列
新一代數字型 MFC，自帶故障自診斷，高速通訊（EtherCAT、Profinet 等），半導體先進制程。


-5700系列

經濟型熱式質量流量計（單純測量，不帶控制閥），無移動部件，吹掃氣、在線分析、替換轉子流量計。



三、公司核心優勢包括：


1. 渠道可靠：所有BROOKS產品均來自正規渠道，可提供原廠出廠校準證書及完整的產品溯源信息，沒有翻新 、仿冒產品。


2. 專業選型，技術支持：
公司擁有經驗豐富的技術團隊，可根據客戶的氣體類型、量程、接口、通信協議、 下游壓力等工藝參數，提供型號匹配與替代方案咨詢。


3. 現貨庫存，快速交貨：針對半導體行業常用型號備有現貨庫存，常規型號交貨周期短，急單可協調空運， 大限度縮短客戶等待時間。


4. 售后完善，服務無憂：提供產品安裝指導、故障排查、原廠維修校準對接等全生命周期服務，解決客戶后 顧之憂。


5. 價格透明，誠信經營：公司堅持公開透明的報價體系，批量采購可享受優惠價格，支持合同簽訂、增值稅 專用發票等正規商務流程。



四、服務領域與客戶群體

涵蓋：
- 半導體制造：晶圓廠、封測廠、半導體設備廠商（刻蝕機、CVD、PVD、離子注入機等）
- 光伏與新能源：光伏電池片制造、氫能、燃料電池、鋰電池涂布等
- 平板顯示與 LED：LCD/OLED 面板制造、LED 外延片及芯片生產
- 特種氣體與化工：電子特氣、標準氣體配比、氣相色譜（GC）載氣控制
- 科研與高校：實驗室氣體管路、材料科學、表面分析儀器
- 生物醫藥：發酵罐通氣、無菌氣體控制、實驗室分析儀器

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部分型號：

BROOKS  流量計  GF100CXXC-SH452.6L-VXVOE0-XXXXAX-000

BROOKS  流量計  GF100CXXC-0607200C-VXVOE0-XXXXAX-000

BROOKS  流量計  GF100CXXC-0015200C-VXVOE0-XXXXAX-000

BROOKS  流量計  GF100CXXC-0015100C-VXVOE0-XXXXAX-000

BROOKS  流量計  GF100CXXC-0013200C-VXVOE0-XXXXAX-000

BROOKS  流量計  GF100CXXC-0004200C-VXVOE0-XXXXAX-000

BROOKS  流量計  GF100CXXC-0004010C-VXVOE0-XXXXAX-000


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