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價格:電議
所在地:四川 成都市
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更新時間:2023-11-07
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公司地址:四川省成都經濟技術開發區(龍泉驛)車城西二路288號派瑞國際4棟5樓
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胡(先生)



●形式:φ650-3500mm,箱式一體機,立式前開門,蒸發室和抽氣室為整體焊接式,一體機系統。
●真空系統:極限真空8X10-5Pa,主泵為復合分子泵低溫泵擴散泵可選。
●真空測量:配三路數字復合真空計,均采用安全防爆金屬測量規。
●工件架系統:客戶需求定制,轉速3~30rpm變頻可調,工件盤為球形和行星工件盤可選。
●烘烤系統:不銹鋼鎧裝加熱器匹配數字功率控制器和PID控制模塊,烘烤溫度300℃,溫控精度1℃,過沖不超過2℃。
●電子束蒸發源:E型電子束蒸發源系統(E型)1-2套,主體有屏蔽罩,配置獨立高壓控制柜。
●旋轉蒸發源:電動轉位和點動轉位,配置無氧銅坩堝和石墨坩堝各一套。
●電阻蒸發源:2套電阻蒸發源。(選配)
●膜厚測試系統:配瑞士inficon石英膜厚在線測量系統, RS-232 和 USB兼容,匹配水冷膜厚探頭。
●離子源輔助沉積系統:一套(選配離子源或高壓離子轟擊系統)。
●控制系統:成熟可靠的真空鍍膜控制系統,工業級10英寸觸摸屏(工控機)和西門子PLC,能夠實現抽真空、工轉烘烤、自動充氣、自動鍍膜、自動冷卻放氣等鍍膜生產流程;支持半自動和手動等鍍膜操作方式。水、電、氣路有故障自動報警和保護系統,采用聲光報警。
●說明:根據用戶要求,公司愿與客戶聯合研發,共享知識產權,公司致力于工藝與設備完美匹配。



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