SJ6000激光干涉儀結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年，致力于全尺寸鏈測量儀器及設備的研發、生產和銷售。

中圖儀器堅持以技術創新為發展基礎，擁有一支集光、機、電、信息技術于一體的技術團隊，歷經20年的技術積累和發展實踐，研發出了基礎計量儀器、常規尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器、常規尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業應用檢測設備等全尺寸鏈儀器及設備，能為客戶提供從納米到百米的測量解決方案。
中圖儀器的銷售和服務網點遍及全國三十多個省、市、自治區，產品遠銷歐、美、東南亞等海外市場，堅持為客戶提供高質量的產品和服務。
中圖儀器還將繼續專注于測量檢測技術的發展，自強不息、知難而上、勇于創新，為中國制造技術的快速發展貢獻力量！

在計量領域中，激光干涉儀可作為長度基準以及設備校準工具，廣泛應用于數控機床、激光打標/切割、三坐標、影像儀、精密測量、自動化、機器人、3D打印等領域。

中圖儀器SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點。

產品配置

SJ6000激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

SJ6000激光干涉儀結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在激光干涉儀動態測量軟件配合下，可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析，如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

傳感器線性精度測量

可調轉向鏡應用實例斜床的傾斜軸測量

技術規格

注意事項：

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

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