SMC不銹鋼制高真空L型XM系列參數(shù)，SMC直線型閥 ?無(wú)氣體積留的遺體鑄造結(jié)構(gòu)。?鋁制高真空L型閥，安裝上具有與XL系列的互換性（XM系列）。注）直線型無(wú)尺寸16。

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SMC不銹鋼制高真空L型XM系列參數(shù)，SMC直線型閥 
?無(wú)氣體積留的遺體鑄造結(jié)構(gòu)。
?鋁制高真空L型閥，安裝上具有與XL系列的互換性（XM系列）。
注）直線型無(wú)尺寸16。
系列 操作方式 軸密封
方式 閥形式 材質(zhì) 法蘭
尺寸
XMA/XYA 氣控 波紋管密封 單作用
（N.C.） 主體：SCS13（相當(dāng)于SUS304）
波紋管：SUS316L 16～80 注）
XMC/XYC 氣控· 波紋管密封 雙作用 主體：SCS13（相當(dāng)于SUS304）
波紋管：SUS316L 16～80 注）
XMD/XYD 氣控 波紋管密封
O形圈密封 單作用
（N.C.） 主體：SCS13（相當(dāng)于SUS304）
波紋管：SUS316L 25～80
XMH/XYH 手動(dòng) 波紋管密封 手動(dòng) 主體：SCS13（相當(dāng)于SUS304）
波紋管：SUS316L 16～50 注）
SMC不銹鋼制高真空L型XM系列參數(shù)，SMC直線型閥 

XMA-25
XMD-63DL-M9//
XMA-16
XMA-16G-M9//
XMA-40
XMA-40-A90LA
XMA-40A-M9//
XMA-40A-M911
XMA-40A-M9NL
XMA-40A-M9NLC
XMA-40CM
XMA-40-M9NLA
XMC-16
XMC-40
XMC-40L-M9BB
XMF-16A
SMC不銹鋼制高真空L型XM系列參數(shù)，SMC直線型閥 
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