產品簡介
主要用于半導體硅晶片檢測、LCD液晶屏檢測、實驗室材料分析及其他工程檢測領域，可對樣品進行明場、暗場、偏光以及微分干涉觀察。光源可選鹵素燈、光纖照明，可以配電動物鏡轉盤、成像系統，可以對應多種需求的系統顯微鏡。
產品說明
儀器用途：主要用于半導體硅晶片檢測、LCD液晶屏檢測、實驗室材料分析及其他工程檢測領域，可對樣品進行明場、暗場、偏光以及微分干涉觀察。光源可選鹵素燈、光纖照明，可以配電動物鏡轉盤、成像系統，可以對應多種需求的系統顯微鏡。儀器主體參數：
儀器型號：YVM-10080CNC
測量范圍：1000*800*200mm
測量精度(X.Y)：3+L/1000
測量精度(Z):3+L/300
重復精度：≤2um
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