顯微鏡移動臺在移動停止后會有一定的反彈，平臺移動總的的位移量有幾毫米，但反彈量很微小，但反彈量決定了平臺的移動精度。可以使用電渦流傳感器測量平臺的較大范圍的移動，使用ZNXsensor電容傳感器測量反彈的微小

 公司介紹 深圳市麥格米科技有限公司是英國真尚有集團(ZSY Group Ltd)的一部分，成立于2005年3月，集團總部設在英國倫敦。英國麥格米集團與歐美眾多著名測量設備、傳感器廠家合作研發、銷售高端精密測量儀器及傳感器。 麥格米科技依托集團優勢，致力于引進國外最先進測量技術；是基于進口高端傳感器，以軟測量技術、RFID技術、無線傳感器網絡技術及相關中間件軟件平臺為發展方向，集研究、開發、銷售、培訓、系統集成、技術支持、售后服務為一體的高科技產業公司。麥格米科技所處的自動化測試測量領域前景十分廣闊，直接服務于國內高端制造業。國內制造業的整體升級，需要大量高精度、高度自動化、高可靠性的測試測量設備、傳感器，給我們帶來了龐大的市場，和眾多的發展機遇。真尚有科技在精密制造業、鐵路測量、公路測量、設備監控...

電容傳感器ZNXsensor測量顯微鏡移動平臺的微量位移

無論是生物工程中的細胞操作、集成電路或光電子器件的加工,還是采用電子顯微鏡進行納米操作,盡管其精度要求各不相同,但在硬件裝備中均有一項共性的關鍵技術,那就是要解決載物臺或其相應設備的的自動測量和定位。要實現這項關鍵技術,控制系統是非常重要的。搭建了一種閉環控制系統,用于控制某特性顯微鏡工作臺。傳感器的使用是閉環控制中必不可少的一環，電容傳感器的精度決定著系統的精度。

顯微鏡移動臺在移動停止后會有一定的反彈，平臺移動總的的位移量有幾毫米，但反彈量很微小，但反彈量決定了平臺的移動精度。可以使用電渦流傳感器測量平臺的較大范圍的移動，使用ZNXsensor電容傳感器測量反彈的微小位移。

ZNXsensor電容傳感器是一種非接觸式的電容傳感器；兩個傳感器板形成一個平行板電容器，每個傳感器可用在兩個不同的測量范圍；納米分辨率；零磁滯。

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