氣體質量流量控制器（MFC，Mass Flow Controller），是現(xiàn)代電子設備工藝氣體流量控制的必不可少的控制單元。

氣體質量流量控制器的原理和應用質量流量控制器用于對各種氣體的質量流量進行測量和控制，大量用于電子工藝設備（如擴散、氧化、外延、ＣＶＤ、等離子刻蝕、濺射等）以及鍍膜設備、光導纖維制造中；并廣泛用于石油化工、冶金、制藥等行業(yè)。它通常由流量傳感器、流量調節(jié)閥、放大控制器和分流器通道等組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源盒提供。流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量流過氣體的質量流量，具有溫度、壓力囪動補償特性。

產品功能和特點：

超快響應速度 <200 mS【常規(guī) >1-2S】

zui高三年質保

技術參數(shù)：
1.量程：20/50/100/ sccm

2.氣體類型：非腐蝕性氣體 e.g. N2, O2, Air, CO2, Ar, He, H2

3.測量精度：

N2, 25°C, 1 bar:

≤ ± 0.5 % F.S. 對于 0...10% F.S.

≤ ± 2 % O.R. 對于 10... F.S.

4.長期穩(wěn)定性：± 0.25 % F.S. /年

5.工作溫度：0-50 ºC

6.氣體壓力：0.5-3 Bar

7.輸入輸出：0…5 V

8.氣管接頭：¼ 不銹鋼卡套

9.漏率：Helium Leak check <10-10 mbar l/s

10.電源：+12-24V

11.響應時間：<200 ms

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