產品簡介
簡單介紹MKS RGA 殘余氣體分析儀主要應用在： 1.真空腔體內殘留氣體掃描----Baseline scan 2.測漏----Leak Check 3.生產機臺定期維
公司簡介
岱美有限公司（下面簡稱岱美）成立于1989年，是一間擁有多年經驗的國際性高科技設備分銷商，主要為半導體、MEMs、光通訊、數據存儲、高校及研發中心提供各類測量設備、工序設備以及相應的技術支持，并與一些重要的客戶建立了長期合作的關系。
自1989年創立至今，岱美的產品以及各類服務、解決方案廣泛地運用于中國大陸、香港、臺灣、新加坡、泰國、馬來西亞、日本及菲律賓等地區。
主要產品包括有：晶圓鍵合設備、納米壓印設備、紫外光刻機、涂膠顯影機、硅片清洗機、超薄晶圓處理設備、壓力計、流量計、等離子電源、非接觸式光學三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、電容式位移傳感器、振動樣品磁強計 (VSM)、粗糙度檢測儀、電鏡 (SEM)、透鏡 (TEM)、原子力顯微鏡 (AFM)、防振臺系統、三維原子探針材料分析儀 (Atom Probe)、激光干涉儀、平面／球面大口徑動態激光干涉儀、氦質譜檢漏儀、紫外線固化儀、碳納米管生長設備等。
岱美中國擁有八十多名訓練有素的工程師，能夠為各地區用戶作出快捷、可靠的技術支持和維修服務；為確保他們的專業知識得以更新及并適應新的要求，岱美定期委派工程師前往海外接受專項技術訓練，務求為顧客提供更高質素的售后服務及技術支持。
總部位于中國香港的岱美分別在新加坡、泰國、臺灣、馬來西亞、日本、菲律賓及中國大陸（上海、東莞及北京）設立了分公司及辦事處，以帶給客戶更快捷更全面的銷售及維修服務。
我們真誠希望和業界的用戶互相合作，共同發展！！
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產品說明
簡單介紹
MKS RGA 殘余氣體分析儀主要應用在： 1.真空腔體內殘留氣體掃描----Baseline scan 2.測漏----Leak Check 3.生產機臺定期維護流程改進----PM optimization 4.製程氣體雜質含量測量----Gas impurities 5.監控【氣體流量控制器】伺服的穩定性----MFC stability 6.終點偵測器----End-point detector 7.製程全程及時監控----In-situ process monitor 8.與機臺完全自動化整合----CTP2E
MKS殘余氣體分析的詳細介紹
MKS殘余氣體分析儀主要應用在：
1.真空腔體內殘余氣體掃描----Baseline scan
2.測漏----Leak Check
3.生產機臺定期維護流程改進----PM optimization
4.制程氣體製程雜質含量測量----Gas impurities
5.監控【氣體流量控制器】伺服的穩定性----MFC stability
6.終點偵測器----End-point detector
7.制程全程及時控制----In-situ process monitor
8.與機臺完全自動化整合----CTP2E
MKS殘余氣體分析儀Vision2000C主要技術參數：
Mass Range Options Vision 2000-C 1-300 amu
Vision 2000-E 1-200 amu
Ion Source High conductance closed ion source
Filaments Independently replaceable twin Tungsten filaments
Mass Filter Double filter (1-inch “RF only” pre-filter with 4-inch main filter)
Detector System Dual (Faraday and secondary electron multiplier)
Maximum Analyzer Operating Pressure 1e-3 Torr at the ion source inlet (standard), higher pressure optional
Minimum Detectable Partial Pressure <2e-11 Torr (for total pressures <1e-4 Torr on baseline inlet)
Minimum Detectable Concentration <200 ppb of highest pressure gas for non-interfering species
Mass Stability Better than ±0.1 amu over 8 hours
Resolution Better than 10% valley between peaks of equal height throughout the mass range
詳情可見網站：http://www.dymekchina.cn/
本頁產品地址：http://www.lgsztm.com/sell/show-314654.html
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