韓國LINE TECH氣體質量流量控制器廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。

主要參數：

流量范圍：               0.005-125(slpm)

響應時間：               ≤2

精    度：        ≤1%

重 復 性：        ±0.25

輸出信號：        0-5vdc或4-20mA

供電電壓：        15-28vdc

溫度范圍：        0-50℃