【導讀】牛津儀器推出了硅漂移探測器新產品X-Max Extreme,該探測器在場發射電鏡及聚焦離子束掃描電鏡應用中,能夠獲取突破性的超高分辨率。這款獨特的探測器一次使得能譜儀能夠在非常低的加速電壓下(1kV 到3kV之間)采集數據,并且在非常短的工作距離進行元素分析。
近年來,超高分辨率的場發射掃描電鏡在更小的納米結構、界面和表面觀察中展示了令人激動的分析功能。然而,在非常短的工作距離、非常低的加速電壓、和非常小的束流條件下,傳統的硅漂移探測器很難進行元素表征。新的X-Max Extreme改變了這一切。X-Max Extreme為有效探測面積為100mm2的無窗型能譜儀,它能夠在較短的工作距離下采集數據。利用X-Max Extreme,能夠同時進行成像和EDS分析,而且能譜分辨率接近掃描電鏡的分辨率。
X射線業務部門經理Simon Burgess表示:“X-Max提供超出傳統微米或納米分析的解決方案。例如,X-Max Extreme的靈敏度允許用戶表征表面污染物和幾個原子層厚的樣品的成分組成及分布。對于輕元素,包括鋰,它也能夠提供的檢測。”