電渦流傳感器能靜態和動態地非接觸、高線性度、、高分辨力地測量被測金屬導體表面距探頭表面的相對位移變化。它是一種非接觸的線性化計量工具。在高速旋轉機械和往復式運動機械的狀態分析，振動研究、分析測量中，對非接觸的振動、位移信號，能連續準確地采集到轉子振動狀態的多種參數。如軸的徑向振動、振幅以及軸向位置。在所有與機械狀態有關的故障征兆中，機械振動測量是具性的，這是因為它同時含有幅值、相位和頻率的信息。
探頭、延伸電纜、前置器以及被測體構成

前置器中高頻振蕩電流通過延伸電纜流入探頭線圈，在探頭頭部的線圈中產生交變的磁場。如果在這一交變磁場的有效范圍內沒有金屬材料靠近，則這一磁場能量會全部損失；當有被測金屬體靠近這一磁場，則在此金屬表面產生感應電流，電磁學上稱之為電渦流。與此同時該電渦流場也產生一個方向與頭部線圈方向相反的交變磁場，由于其反作用，使頭部線圈高頻電流的幅度和相位得到改變（線圈的有效阻抗），這一變化與金屬體磁導率、電導率、線圈的幾何形狀、幾何尺寸、電流頻率以及頭部線圈到金屬導體表面的距離等參數有關。通常假定金屬導體材質均勻且性能是線性和各向同性，則線圈和金屬導體系統的物理性質可由金屬導體的電導率б、磁導率ξ、尺寸因子τ、頭部體線圈與金屬導體表面的距離D、電流強度I和角頻率ω參數來描述。則線圈特征阻抗可用Z=F（τ，ξ、б、D、I、ω）函數來表示。通常我們能做到控制τ，ξ、б、I、ω這幾個參數在一定范圍內不變，則線圈的特征阻抗Z就成為距離D的單值函數，雖然它整個函數是一非線性的，其函數特征為“S”型曲線，但可以選取它近似為線性的一段。于此，通過前置器電子線路的處理，將線圈阻抗Z的變化，即頭部體線圈與金屬導體的距離D的變化轉化成電壓或電流的變化。輸出信號的大小隨探頭到被測體表面之間的間距而變化，電渦流傳感器就是根據這一原理實現對金屬物體的位移、振動等參數的測量。

機械振動測量占有的另一個原因是

它能反應出機械所有的損壞，并易于測量。從轉子動力學、軸承學的理論上分析，大型旋轉機械的運動狀態，主要取決于其核心轉軸，而電渦流傳感器，能直接非接觸測量轉軸的狀態，對諸如轉子的不平衡、不對中、軸承磨損、軸裂紋及發生磨擦等機械問題的早期判定，可提供關鍵的信息。電渦流傳感器以其長期工作可靠性好、測量范圍寬、靈敏度高、分辨率高、響應速度快、抗干擾力強、不受油污等介質的影響、結構簡單等優點，在大型旋轉機械狀態的在線監測故障診斷中得到廣泛應用。
工作過程
當被測金屬與探頭之間的距離發生變化時，探頭中線圈的Q值也發生變化，Q值的變化引起振蕩電壓幅度的變化，而這個隨距離變化的振蕩電壓經過檢波、濾波、線性溫漂補償、放大歸一處理轉化成電壓（電流）變化，終完成機械位移（間隙）的變化，轉換成電壓（電流）的變化。由上所述，電渦流傳感器工作系統中被測體可看作傳感器系統的一半，即一個電渦流位移傳感器的性能與被測體有關。