型號：MHY-18316
用于測量毛細管或其它小孔零件的流通能力。
流量測量范圍：0-1，2，3，5，10，20，50，100，250SLM
流量測量范圍：±1% F.S.（100SCCM~10SLM N2）
±2% F.S.（20SLM~250SLM N2）
壓力測量范圍：0~1.5 MPa
壓力測量精度：0.1%FS
系統單點漏率：1×10-7SCCS He
供電電源：~220VAC±10%
zui大功耗：15 W
外形尺寸：440×260×260mm
重量：8 Kg
