用于測量毛細管或其它小孔零件的流通能力。
指標
流量測量范圍：0-1，2，3，5，10，20，50，100，250SLM
流量測量范圍：±1% F.S.（100SCCM~10SLM N2）
±2% F.S.（20SLM~250SLM N2）
壓力測量范圍：0~0.4, 0~1, 0~1.6 MPa
壓力測量精度：0.25，0.4級
系統單點漏率：1×10-7SCCS He
供電電源： ~220VAC±10%
zui大功耗 15 W
外形尺寸 440×260×260mm
重量 8 Kg
流量測量范圍：0-1，2，3，5，10，20，50，100，250SLM
流量測量范圍：±1% F.S.（100SCCM~10SLM N2）
±2% F.S.（20SLM~250SLM N2）
壓力測量范圍：0~0.4, 0~1, 0~1.6 MPa
壓力測量精度：0.25，0.4級
系統單點漏率：1×10-7SCCS He
供電電源： ~220VAC±10%
zui大功耗 15 W
外形尺寸 440×260×260mm
重量 8 Kg
