隨著科學技術的發展，對計量技術的要求越來越高，尤其是當代宇航和天文等技術的發展，要求計量向納米技術發展，納米計量和標定技術成為目前各學科必須解決的問題。因此外儀器計量部門都在研究和生產各種納米級準確度的計量儀器，并探討其標定和校正方法，以滿足科學技術發展的需要。近幾年來，各國相繼研制成功了各種納米量級的測微儀，它們包括激光干涉儀、電容測微儀和電感測微儀，這些測微儀雖然已經在許多學科及部門得到了廣泛應用，有的測微儀的準確度到底如何?就目前的方法是無法進行測定的。另外，還有一些微位移進給器件，例如壓電陶瓷等，雖然應用范圍很廣，但其非線性和位移準確度如何?有時也沒有可靠的檢測手段。

一、基于有基準的儀器校正技術

有基準方法是傳統的對比儀器校正，此方法在儀器計量部門對各種新設備的標定、舊設備的校正以及各個學科的實際工程技術測量中都得到了廣泛的應用。

有基準儀器校正法的基本原理是：對于任何被測量新的或在用過程中的檢測設備，為了確定其測量結果的可靠性，通常采用比被測量準確度更高等級的檢測設備，準確地標定其在測量范圍內的測量準確度、分辨力、穩定性等性能指標。從該方法的原理看出，對于長度計量的位移傳感器的儀器校正技術，必須解決兩個關鍵性問題：一是具有更高等級準確度、更高分辨力的測微系統；二是能夠提供足夠小的達到測微系統分辨力的微位移機構。只有滿足了上述兩個條件，才能真正對測微系統的分辨力、準確度、穩定性等性能指標給予的評價。對于具有有效測量面積位移傳感器的測微系統，采用這種原理進行標定的方法主要有以下幾種：

1、小角度檢查儀(正弦尺)標定方法

用小角度檢查儀和標準量塊對電容測微儀的標定方法是80年代末期，儀器計量部門針對具有有效測量面積的電容和電感測微儀而制定的一種標定方法，其具體的工作原理如圖1-1所示。