四探針電阻率測試儀校準技術詳解

　　四探針電阻率測試儀產品概述

　　常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上，并且間距相等，都是S，一般采用0.5mm的間距，不同的探針間距需要對測量結果做相應的校正。

　　一般目前的四探針電阻率(電導率)測試儀均已配置厚度的修正，通過厚度數值的設置，計算出不同的樣品厚度對電阻率的影響。

　　四探針電阻率測試儀技術參數如下：

　　1.測量方式： 電腦程序自動測量，或不連電腦單測量主機也可實現測量和數據顯示，此時非常適合測試不規整樣片單點測量，適合實際研究需要。

　　2.測量的數據： 方塊電阻/電阻率/薄膜厚度，根據具體應用可以設置不同測量程序。

　　3.測量的點數： 程序編排任意測量點位置及測量點數量，對應不同客戶不同測量要求任意編程測量點位置與數量。

　　4.邊緣修正：具有邊緣修正功能，即片子邊緣3mm以內區域都能測量。

　　5.探針材料：鎢鋼與硅片的接觸電阻小，且耐磨。另外每跟針的軸套采用非常耐磨藍寶石材料，以確保長時間使用后間距的一致性。