四探針電阻率測試儀 是運用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。本文主要介紹四探針電阻率測試儀的測試應用范圍。
    對于半導體材料的電阻率，一般采用四探針、三探針和擴展電阻。
    電阻率是反映半導體材料導電性能的重要參數之一。測量電阻率的方法很多，四探針法是一種廣泛采用的標準方法。它的優點是設備簡單、操作方便，度高，對樣品的形狀無嚴格要求。
    常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上，并且間距相等，都是S，一般采用0.5mm的間距，不同的探針間距需要對測量結果做相應的校正。
    一般目前的四探針電阻率（電導率）測試儀均已配置厚度的修正，通過厚度數值的設置，計算出不同的樣品厚度對電阻率的影響。
    根據不同材料特性需要，配有多款測試探頭。
    1、高耐磨碳化鎢探針探頭，測量硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻；
    2、球形鍍金銅合金探針探頭，測量柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜（ITO膜）或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻；
    3、配合四端子測試夾具，測量電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻；
    4、專用探頭可測試電池片等箔上涂層電阻率/方阻。