UL1000氦檢漏儀

    INFICON(瑞士英?？? UL1000移動(dòng)式氦檢漏儀專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于滿足苛刻的工業(yè)檢漏要求：具有耐用性強(qiáng)、測(cè)試靈活性好、靈敏度高、啟動(dòng)快，響應(yīng)精確迅速，系統(tǒng)安可靠等特點(diǎn)。

     UL1000符合微電子工業(yè)生產(chǎn)的要求。從堅(jiān)固的金屬外殼到方便移動(dòng)的滾輪，至I·CAL, 用于消除在10^-11至10^-12超高靈敏漏率范圍中長(zhǎng)平衡時(shí)間的運(yùn)算法則，都無(wú)不顯示了其無(wú)與倫比的優(yōu)越性。

     系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的先進(jìn)自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)性功能。UL1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會(huì)干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動(dòng)。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。

     UL1000具有可轉(zhuǎn)動(dòng)的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測(cè)量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。通過(guò)E-MAIL更新軟件，新的固件可通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)接口在數(shù)分鐘內(nèi)完成安裝。