用氧化鋯氧分析儀除可以分析氧氣產品的氧純度外。也可分析高純氫和高純氮中的微量氧。根據氣體中微量氧的含量，要將分析儀調到相應的量程檔次.在使用時，應注意以下一些事項: 
1)控制流量.切不可用大流量，以免沖擊錯管，使錯管破裂、損壞。流量一般為500mL/min。 
2)檢查氣密性。可用逐步檢漏法，取出機芯檢查.錯管有一個三通接頭，容易發生漏氣的有兩處:一處為流量計漏氣;另一處為氧化鉛管破裂。先通入微量氣體，使流量轉子升至頂端滿刻度處，然后堵住流量計出氣管口。如果流量轉子下不來，則說明流量計漏氣。如果堵住儀器出口轉子下不來，則說明錯管破裂。 
3)用于氫氣分析時，流量計讀數在左側;用于氮氣分析時，流量計讀數在右側. 
4)用于分析高純氫或高純氮時，如果將量程放在小擋，指針一直靠左邊，表明氣中有還原性氣體，應設法除去，否則就無法測定。
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